真空断路器的优点之一是适宜频繁操作和几乎不用检修，故近年来在我国电力、化工、冶金、铁道电气化、矿山等行业中得到了广泛应用。这里所说的几乎不用检修主要是指真空灭弧室而言，而别的部分如操动机构、传动机构、绝缘件等还需要一定维护的，例如清除灰尘、注润滑油、拧紧小螺丝等。根据多年来我国真空断路器运作情况，出现的故障主要有两个方面：
1)真空灭弧室漏气。一般在运行约一年内发生的居多，一年以后较少。基本上还未构成事故，绝大多数都在检查中发现后立即予以更换。
1)真空灭弧室。真空灭弧室是一个比较娇嫩的元件，管子出厂之后，经过多次运输颠簸、安装震动、意外碰撞等，都可能会产生玻璃或陶瓷封接的渗漏。因此，应在投运前进行工频耐压试验，用间接方法检查真空度，用时亦证实它的绝缘水平。投运后亦应加强检查，有条件的在投运后半年内耐压检查一次，可以尽早发现漏气管子，按时换处理。以后可按正常年检试验检查。
①短路--送电操作时，表现为断路器不动作，电流很大甚至使熔断器熔断，导线发热软化，电气元件也可能烧坏，切断操作电流时触头产生很大弧光。产生原因有：A.操作线路接错；B.机构本身接线有差错，受电回路未接人负载线圈；c.内部接线松脱，构成短路点；D.布线受外部机械砸伤形成短路点。
②断路器拒动--给断路器发出操作讯号而不合闸或不分闸。产生原因可能有：A.操作电源无电压；B.操作回路未接通；c.合闸线圈或分闸线圈断线，或未接人受电回路；D.机构上的辅助开关触点未到位，或接触不良。
③合闸和分闸操作中其中一个拒动--产生原因与②相似，很可能是辅助开关触点位置调整不当，一对触点接触量过大，而另一对却不接触。
④合不上闸或合后即分断--原因可能有：A.操作电压太低；B.断路器动触杆接触行程过大；c.辅助开关联锁电接点断开过早；D.操动机构的半轴与掣子扣接量太小(对CD17型机构或弹簧机构)，或CD10操动机构的一字板未调整好等。
⑤分不了闸--故障原因可能有：A.分闸铁芯内有职物使铁芯受阻动作不灵；B.分闸脱扣半轴转动不灵活；C.分闸的铜撬板太靠近铁芯的撞头，使铁芯分闸时无加速力；D.半轴与掣子扣接量太大。
⑥烧坏分闸线圈--故障原因可能有：A.由于⑤所述分不了闸的问题导致，在断路器分闸操作中辅助开关没有联动旋转至分闸位(可能是机械连接卡滞或松脱)；B.辅助开关震松移位，造成分闸后辅助开关的分闸电接点没有断开。
⑦烧合闸线圈--故障原因可能有：A.由于二次线路上的问题导致合闸后直流接触器不能断开；B.直流接触器被异物卡阻，合闸后分不了闸或分闸延缓；。辅助开关在会闸后没有联动转至分闸位(可能是机构连接受阻或松脱)；D.辅助开关松动移位，造成合闸后控制接触器的电接点没有断开。
⑧分闸或合闸电磁铁稍动或动作缓慢--故障原因有：A.电磁铁铁芯位置或行程调整不当山.由两个线V时)组成的电磁铁芯绒圈，相互极性接反；C.线圈内部产生匝间短路，此时回路中电流很大而电磁力却很小；D.零部件锈蚀严重；E.铁屑或灰尘落入铁芯间隙或导槽中
真空断路器出现了故障后应根据事故现象，仔细研究分析找出根本原因，事故原因清楚了，处理就容易，还能够吸取这次的教训，采取一定的措施，杜患。
对真空断路器应每年进行一次停电检查维护，以保障正常运行。正常的年检希望做好如下工作：
1)灭弧室应进行断口工频耐压试验，并予记录。对耐压不好或真空度较低的管子应及时更换。
3)对真空断路器的开距、接触行程应测量记录在册，如有变化应找到原因处理(如可能是连接件松动或机械磨损等原因)，有条件的应对断路器测试机械特性并记录。对机械特性参数变化较大的应找到原因并及时作出调整处理。
4)对各连接件的可调整处的连接螺栓、螺母等应检查有否松动，特别是辅助开关拐臂处的连接小螺钉、灭弧室动导电杆连接的锁紧螺母等应检查有否松动。
5)对各转动关节处应检查各种卡簧、销子等有否松脱，并对各转动、滑动部分加润滑油脂。
6)对使用在电流大于1600A以上的真空断路器，应对每极作直流电阻测量，记录在册，发现电阻值变大的应检查原因并排除。
7)如需更换灭弧室应按产品说明书的要求做，更换后应进行机械特性的测试和耐压试验。
8)年检后，在投运前应连续空载操作8～10次，检查应动作正常，无异常声音，无异常晃动，合、分闸线圈无发热等后方可投入运行。
在发生短路事故分断动作后，不论真空断路器是否成功分断事故，为稳妥起见值班员都应察看检查断路器，特别是真空灭弧室，对其有疑问时，应在设备停电安全情况下，用手触摸灭弧室外壳，如感到外壳温度相当高时，应对灭弧室断口进行工频耐压检查。若工频耐压达不到要求，则管子内部可能已烧损或漏气，应按时换处理。对灭弧室正常的断路器亦应进行连续8～10次以上的空载操作检查，确认断路器一切正常时才投入运行。
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